无卫星液滴锡液滴流

液滴间距大且均匀

通过叠加奇次谐波扰动，在低波数下消除卫星液滴，获得大间距单分散液滴流，无需增大液滴直径。

Shengnan, Lyu · 罗俊 · Dou, Yibo · Chao, Xujiang · 齐乐华

International Journal of Mechanical Sciences 2024

参数信息

平均直径

31.5 μm

最大间距直径比

17.7

技术优势

卫星液滴被清除

奇次谐波叠加导致液丝非对称颈缩，产生不平衡表面张力，使卫星液滴加速或减速，最终与主液滴完全合并。

间距直径比大

消除卫星液滴后无需增大液滴直径即可获得大间距液滴流，最大间距直径比达到17.7。

无需增大直径

该方法在低波数区间消除卫星液滴，避免了通过增大液滴直径来减少卫星液滴的传统做法，保持小直径。

应用场景

• 极紫外光刻：提供大间距单分散锡液滴流，减少等离子体爆炸对相邻液滴的干扰。
• 激光等离子体光源：消除卫星液滴，避免了碎屑对光源系统的污染。
• 液滴发生器：无需增大液滴直径即可在低波数下生成均匀大间距液滴流。