云母基超薄TiO₂薄膜

10秒全覆盖

通过调节前驱体浓度，可在常压化学气相沉积中精确控制TiO₂薄膜的初期成核密度与晶粒尺寸，从而获得均匀覆盖的超薄薄膜。

Ming, Liu · Ying, Li · 王蕊 · Shao, Guoqiang · 吕鹏鹏 · Jun, Li · 朱庆山

Chinese Journal of Chemical Engineering 2023

具体参数

完全覆盖时间

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技术优势

覆盖时间大幅缩短

将前驱体浓度从0.38%提高到2.44%，完全覆盖时间从120秒降至10秒。

浓度低于0.90%易于调控

当TiCl₄浓度低于0.90%时，成核密度和晶粒尺寸易于调节，便于获得理想薄膜结构。

应用场景

• 珠光颜料：TiO₂覆盖层提供高折射率和均匀色彩，替代传统多层包覆工艺。
• 功能性涂层：超薄均匀TiO₂膜赋予基材光催化、防污等表面功能。
• 薄膜沉积工艺：APCVD常压操作、快速成膜，可集成到连续生产线。