液压微动执行器

毫米行程·微米精度

在毫米级行程下同时具备高刚度、高力密度与亚微米精度,为机器人高精度加工提供紧凑执行方案。

76002395 · Guo K. · 孙杰

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2025

参数信息

行程
1.56 mm
行程(受载)
1 mm
闭环刚度
5.4024×10⁴ N/mm
带宽
165 Hz
分辨率
0.1 μm

技术优势

扛得住重载

在 3745 N 外载下仍能输出 1 mm 行程,力密度远超现有方案,可直接用于承受切削力的加工场景。

定位极准

分辨率 0.1 μm,且闭环刚度高达 5.4024×10⁴ N/mm,在微动范围内可进行精准稳定的位置控制。

体积小巧

外形仅 120×20 mm,却能输出毫米级行程,行程-体积比优于现有毫米级微定位执行器,便于集成到机器人末端。

应用场景