ALD氧化锌透明电极

低成本替代ITO

用空间原子层沉积制备的掺铝氧化锌，以原子级掺杂调控实现超越商用ITO的导电性。

江学为 · 王清波 · Geng, Yang · 李晨辉 · 单斌 · 杨帆 · 陈蓉

Small 2026

参数信息

方阻

3.3 Ω sq⁻¹

透光率

90 %

基板上厚度不均匀性

2.36 %

大面积组件效率

18.50 %