粗-精反转跨尺度定位台

厘米行程纳米精度

粗级台安装在精细级运动平台上，利用精细级的高离面刚度，在保证全系统工作空间的同时实现纳米级定位。

秦岩丁 · Haitao, Wu · 于仲波 · Shirinzadeh, Bijan · 韩建达

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2026

参数信息

定位误差

25 nm

分辨率

8 nm

跟踪误差

1 %

技术优势

刚度不牺牲

把粗级台安装在精细级的运动平台上，利用精细级的高离面刚度，避免传统布局对整体刚度的削弱。

切换无抖动

用Sigmoid函数替代阶跃函数，缓解拮抗驱动中测量信号分配与切换抖动问题。

应用场景

• 微纳操作：可直接用于单分子操作等跨尺度任务
• 精密仪器：为精密仪器提供大行程高精度定位模块
• 微纳制造：满足微纳制造中跨尺度定位需求
• 高精度运动控制：实现高精度轨迹跟踪，误差低于跨度1%