接收灵敏度翻倍
顶部圆形与底部环形振膜经柱连接,总挠度提升、刚度降低,在保持发射性能的同时实现接收灵敏度倍增。
李劼 · Zhaohui, Xiao · 吴祖堂 · 胡雄 · Li, Zhikang · Zhao, Yihe · 李敏 · Yuan, Jiawei · 赵立波
Micromachines 2025