准共程外差光栅干涉仪

亚纳米级周期非线性误差

通过对称斜入射和波长稳定至铷原子跃迁线，将传统外差光栅干涉仪的周期非线性误差抑制到0.3 nm以下，实现亚纳米级定位能力。

Wang, Guochao · Lvye, Gao · Huang, Guangyao · Xiaoyang, Lei · Can, Cui · Wang, Shengtong · Yang, Mingyue · Zhu, Junhao · Shuhua, Yan · 李星辉

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2024

参数信息

周期非线性误差

0.3 nm

技术优势

非线性误差低

通过分离光束和波长稳定，周期非线性误差降至0.3 nm以下，可直接用于亚纳米级测量。

抗干扰强

准共程设计减小光程差，波长稳定到铷原子跃迁线，提高了干涉鲁棒性。

无需双频激光

采用两束小频差分离光束实现外差，避免使用双频正交偏振激光源，从根源上消除频率和偏振混叠。

应用场景

• 超精密定位：提供亚纳米级位移反馈，替代易受环境干扰的传统干涉仪。
• 精密机械制造：用于加工设备的超精密定位，确保运动平台达到亚纳米精度。
• 扫描光束干涉光刻：为光刻扫描光束提供高精度位置反馈，提高图形刻写质量。
• 纳米计量：作为纳米计量标准器，校准和验证其他纳米位移传感器。