加工间隙恒稳
集成了柔性铰链与微力传感器的电化学放电加工主轴，可在石英玻璃上以接触力伺服控制实现恒定加工间隙。
Shan Ali, Nawaz · Peiyao, Cao · 佟浩 · 李勇
Journal of Manufacturing Processes 2023
主轴集成高分辨率微力传感器，可对给定的微接触力进行伺服控制，保证扫描过程中加工间隙始终处于合适状态。
采用柔性微力伺服控制的定量深度进给策略，使石英玻璃微三维结构深度误差控制在±2 μm以内。
在加工微槽等结构时，通过接触力伺服控制保持间隙一致，使得结构宽度偏差控制在±4 μm。
采用反向拷贝微细电火花与切向进给线电极放电磨削复合工艺制备出直径小于Φ200 μm的微工具电极，适合微细加工。