灵敏度达178.76 nm/Pa
通过π形悬臂结构优化，该传感器在低频段实现了比传统矩形悬臂高1.8倍的灵敏度，能够满足光声光谱等对微弱声信号的高灵敏检测需求。
王巧云 · Chongyue, Yan · Ziheng, Zhu · Tianyu, Li · Yinji, Chen · Liu, Qiang
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica 2025