四微电极硅芯片

宽频高灵敏

单片集成四个微电极的电化学地震仪芯片，通过大深径比微孔结构与优化参数实现宽频带与高灵敏度。

Zhenyu, Sun · 梁天 · Lintao, Hu · Maoqi, Zhu · Mingbo, Zhang · Qinghua, Liu · Lu, Yulan · 陈健 · 陈德勇 · 王军波

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025

具体参数

峰值灵敏度

6221 V/

带宽

0.7 Hz

闭环系统带宽扩展

0.00417 Hz

技术优势

与商用CME6011对比随机振动检测能力更优