速精兼备
用两个平行板簧的横向运动代替传统纵向驱动，在保持纳米级步进的同时把速度做到数十毫米每秒，让快速定位系统不再在速度与精度之间二选一。
Sun, Pingping · 徐志科 · 金龙 · Zhu, Xingxing
Micromachines 2023