六自由度绝对位移传感器

毫微米级分辨

利用磁浮平台自身磁铁阵列作为磁源，通过编码实现无行程限制的绝对位置测量，首次将六自由度测量集成于单一传感矩阵。

Zhen, Zhang · Bingzhang, Cao · 王雷 · Hongwei, Sun · Peijun, Liu

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

方向

1 μm

技术优势

不限制行程

通过编码测量区域构建绝对参考，无需传感器随动扩展即可覆盖长行程。

单一矩阵测六自由度

利用二维传感器矩阵和磁铁阵列局部位移，同时获取六自由度绝对位移。

无需外接磁源

直接利用磁浮平台自身的磁铁阵列作为磁源，简化传感器结构。

应用场景

• 精密运动控制：为多自由度运动台提供高分辨率绝对位置反馈。
• 磁悬浮平台：直接集成到磁浮平台，替代多个传感器实现六自由度测量。
• 半导体制造装备：满足晶圆台等设备的长行程、高精度定位需求。
• 精密仪器：用于需要六自由度绝对位置反馈的精密仪器。