高灵敏快响应
集成PDMS微槽的Love波传感芯片,利用SU-8波导和温度自补偿获得稳定的冰检测能力。
Yin, Yining · Cheng, Lina · Liang, Yong · 王文 · Henglin, Xiao
IEEE Sensors Journal 2023
采用SU-8/ST-90°X结构实现温度自补偿