薄膜集成光学眼压传感器

实时监测眼压

一种基于干涉原理的薄膜集成光学传感器，可直接通过干涉图样读出眼压值，在0–45 mmHg范围内实现高精度测量，且制备简单、成本低，适合芯片集成医疗传感。

徐小斌 · Liu, Zixian · 王丽强 · 黄一飞 · 杨合

Micromachines 2023

参数信息

灵敏度

0.19 μm/mmHg

平均精度

0.84 mmHg

压力范围

0-45 mmHg

技术优势

实时读数

传感器通过干涉图样直接读出眼压值，并同时监测数值变化，无需延迟处理。

制备更简单

相比其他已报道的光学系统，本传感器具有更简单的制备工艺和更低的成本。

精度够用

在0–45 mmHg压力范围内平均精度为0.84 mmHg，与已报道的光学系统相当。

应用场景

• 眼压监测设备：直接集成到眼压监测设备中，提供实时压力数据，无需复杂后处理。
• 可穿戴医疗设备：薄膜结构适合集成到可穿戴设备，实现连续眼压监测。
• 芯片集成医疗传感：传感器基于微加工工艺，可与其他芯片集成，用于多功能医疗传感。
• 生化传感：光学干涉读出机制可用于其他生理指标的芯片集成测量。