小孔气浮板

晶片变形低至11 nm

通过气体悬浮支撑，以极低应力精确控制大尺寸KDP晶体的变形，替代传统机械夹持可能引入的损伤。

吴动波 · Chu, Dongya · 王慧

Journal of Mechanical Science and Technology 2024

参数信息

面形PV值

11.17 nm

技术优势

变形控制至11.17 nm

通过合理设计小孔气浮板的结构参数，实现KDP晶体面形PV值11.17 nm，满足高功率激光对晶体面形精度的要求。

避免机械接触损伤

采用气体悬浮支撑替代传统机械夹持，从装夹方式上消除了机械接触可能引入的应力和表面损伤。

通过激光损伤实验验证

装配后的KDP晶体通过激光损伤阈值实验验证，证明气体悬浮装配在真实激光工况下的可靠性。

应用场景

• 高功率激光装置：直接集成到现有晶体装夹框架，提升KDP晶体安装精度与激光输出稳定性。
• 非线性光学晶体：为KDP等软脆非线性晶体提供低应力装夹，避免机械损伤，保持倍频性能。
• 精密光学装校：替代传统机械支撑，实现光学元件面形纳米级控制，提高装校一致性。