干涉测量参数解调算法

谐波混叠全规避

一种基于DTFT和半盲谱分析的多谐波叠加解调算法，可在自由腔长条件下自适应匹配调谐步长，避免谐波混叠和欠采样。

常林 · Jiehua, Gao · Yongli, Wang · Zhou, Yonghao · 于瀛洁

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2024

参数信息

PVQ误差

5 mm

RMS误差

1 mm

技术优势

免预调谐

通过频谱全局加密的DTFT全面分析不同采样和腔长下的频谱，自适应匹配调谐步长，无需现场反复试凑。

防混叠欠采样

算法包含预处理和三个频谱判据，可在测量前识别并避开不良采样参数，保证解调有效。

多距离稳精度

实验对20 mm厚平板在不同测量距离下重复测量，PVQ和RMS误差分别保持小于5 mm和1 mm。

应用场景

• 精密干涉测量：用于多表面波长相移干涉仪，现场测量无需手动选调谐步长，提升测量效率。
• 光学元件检测：可在不同距离下保持误差小于5 mm和1 mm，适合平板类光学元件的重复检测。
• 机械表面形貌测量：测量20 mm厚平板表面时，无需预先设置采样参数即可获得稳定面形数据。