β-Ga₂O₃深紫外光电探测器

800 K下仍稳定工作

采用难熔TiW电极替代钛电极,避免了高温下界面退化,使器件在800 K仍能保持高响应度。

Zhang, Maolin · Wan-Yu, Ma · 刘增 · Yang, Lili · 位授 · Guo, Yufeng · 唐为华

Results in Physics 2023

参数信息

光暗电流比
3.1e6
响应度
0.2 A/W
探测率
8.3e13 Jones
外量子效率
102.3 %
光暗电流比
4.4e2
响应度
0.7 A/W
探测率
2.0e12 Jones
外量子效率
343.7 %

技术优势

800 K不失效

TiW电极耐高温、界面稳定,在800 K环境中暗电流仅小幅上升,器件仍能有效检测深紫外信号。

响应度不降反升

温度升高后,光电流先降后升,800 K时响应度提升至0.7 A/W,比室温值还高,说明高温没有压制光生载流子的收集。

信噪比够用

即便在800 K,PDCR仍保持4.4×10²,足以在强背景热辐射中分辨出微弱的紫外信号。

应用场景