15.8 μm/h 去除率
提出基于C-C键断裂引发石墨化的新型材料去除机制,在低气压和紫外照射下实现金刚石高效无碎裂抛光。
肖峻峰
International Journal of Mechanical Sciences 2025
在低气压和紫外照射条件下实现高磨损率