平面二维电容位移传感器

大面积高精度测量

采用时栅技术，无需大面积二维衍射光栅即可实现平面二维位移测量。

彭凯 · Zhizhao, Deng · 刘小康 · Wang, Hewen · Yu, Zhicheng

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2023

参数信息

Measurement error

8.2 μm

Measurement error

6.8 μm

技术优势

无需二维光栅

利用时栅技术的一维高精度，避免了大面积高精度二维衍射光栅的制造难题。

标准PCB工艺制造

传感器采用标准印刷电路板技术制造，便于复制和集成。

应用场景

• 精密位移测量：在大面积内提供高精度二维位置反馈，替代二维光栅方案。
• 机器人定位：为移动机器人提供平面定位，无需外部基础设施。
• 机床位置反馈：用作机床二维工作台的位置反馈，避免光栅尺的制造难题。
• MEMS对准：实现微机电系统对准中的大行程二维位移测量。