螺旋磁流变抛光方法

提升低频面形误差修正能力

通过可控螺旋工具影响函数和分频加工策略,针对连续相位板等复杂结构表面能更有效地抑制低频面形误差,突破了传统磁流变抛光在该频段的修正极限。

Wang, Bo · 石峰 · 铁贵鹏 · Zhang, Wanli · 宋辞 · 田野 · Suo, Qiao · Peng, Xing · Ying, Xiong

Journal of Manufacturing Processes 2025

参数信息

低频面形误差
31.64 nm
可控空间波长下限
8 mm
元件尺寸
338.4 mm

技术优势

低频误差降得更低

螺旋TIF对8 mm以上空间波长频段有更好的控制效果,实验低频误差从RMS 37.984 nm降到31.64 nm。

面形匹配更智能

基于遗传算法建立面形误差与TIF螺旋角的匹配策略,并动态补偿TIF,提升修形能力。

加工策略分频

针对不同空间波长采用分频加工,对8 mm以上频段控制效果更好,可据此制定工艺。

应用场景