横向灵敏度降55%
采用穿孔膜岛结构释放残余应力，实现低横向灵敏度，适用于高精度振动监测。
AnNa, Li · Yongquan, Su · Zhang, Cheng · Jiachang, Zhang · Hao, Huang · Dalong, Chen · Wenli, Xue · Wang, Lihao · Liu, Yichen · 田丰 · Wang, Yang · 武震宇
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026
穿孔膜岛结构释放残余应力，抑制表面翘曲，使横向灵敏度降低55%。
在基于三轴振动系统的测试中，所提出的加速度计比商用产品具有更强的抗交叉轴干扰能力。
在降低横向灵敏度的同时，电荷灵敏度、频率范围和量程等关键性能指标保持不变。