仿真引导检测更准
融合光刻仿真与目标检测网络，同时学习潜在形变和已知缺陷模式，提升对真实版图热点的泛化能力。
Shao, Haochiang · Guan-Yu, Chen · Yu-Hsien, Lin · Lin, Chiawen · Fang, Shaoyuan · Tsai, Pin Yian · Liu, Yanhsiu
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems 2024
融合光刻仿真器估计的潜在形变和已知缺陷模式，不再只认得训练数据中的热点，对真实场景的泛化能力更强。
检测依据包括电路形状变形的物理估计，而非仅依赖学习到的缺陷模式，提升对未见版图的鲁棒性。