多光束激光干涉仪

六自由度误差同测

用四激光组合在同一装置上完成机床六自由度空间误差的同步测量，使各轴定位误差得到近全额补偿。

Lei, Lihua · 谢张宁 · Fu, Yunxia · Zhang, Bo

Scientific Reports 2025

参数信息

线性定位精度提升

96 %

水平直线度误差改善

89 %

垂直直线度误差改善

55 %

定位精度平均偏差改善

88 %

定位精度最大偏差改善

91 %

技术优势

一台测全

四激光组合覆盖测量不同参数，同时测出六个自由度误差，无需多个干涉仪或反复调整光路。

定位精度近乎翻倍

空间误差补偿后线性定位精度提升近96%，最大偏差改善近91%，接近全额修正。

软件补偿免改硬件

通过软件算法修正空间误差，只需采集坐标数据，不改变机床结构和控制系统。

应用场景

• 数控机床：在线测得六自由度误差并补偿，提升数控机床加工精度。
• 精密测量：同时获取六个自由度误差，为空间误差评定提供数据。
• 机床校准：作为机床空间误差标定装置，替代传统逐轴激光测量。
• 工业机器人：用于机器人关节和末端执行器位姿误差的全自由度标定。