GaAs纳米铣削

平坦纳米通道

通过AFM针尖在单晶GaAs表面实现材料移除与塑性变形控制，制备出底部平坦的纳米通道，为GaAs纳米结构加工提供新途径。

Wang J.

Journal of Materials Processing Technology 2025

技术优势

实现底部平坦的纳米通道

加工宽度可通过调节驱动电压控制

材料以切屑和堆积形式被去除

塑性变形导致位错、晶格畸变和非晶化