熔融石英微半球谐振器

粗糙度<300 nm

采用飞秒激光改性超声辅助化学刻蚀制造，齿状tines切面光滑近垂直，品质因数显著高于同组激光烧蚀器件。

Haoning, Zheng · 李青松 · Xi, Xiang · Hu, Youwang · 孙小燕 · 段吉安

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

切面粗糙度

<300 nm

切面陡度

90 °

技术优势

切面光滑

通过飞秒激光改性与超声辅助化学刻蚀相结合，切面粗糙度低于300 nm，减少散射损耗，有利于提高品质因数。

陡度近90°

齿状tines的切面接近垂直，有利于谐振器结构的对称性和模态控制。

Q值更高

FLMUCE制备的谐振器品质因数显著高于同组激光烧蚀器件，验证了该方法对高性能熔融石英谐振器的重要性。

应用场景

• 惯性导航传感器：用于惯性导航传感器的高性能核心元件，提升器件灵敏度与稳定性。
• 光学谐振器：作为光学谐振器，利用高Q值实现更精确的频率选择。
• 微机械加工：验证FLMUCE在熔融石英上实现低于300 nm粗糙度的高精度加工。