无缺陷ZnO纳米线谐振器

超高Q值力敏

顶向下加工的无缺陷ZnO纳米线谐振器，具有优异的压电激发特性，为高频信号处理和量子机电系统提供了高性能核心元件。

Cai, Xianfa · Lizhong, Xu

Physica Scripta 2023

参数信息

谐振频率

650 MHz

品质因数

1000

力灵敏度

1 fN·Hz⁻¹ᐟ²

技术优势

高Q值

压电激发相比电磁激发显著提高品质因数，实验显示Q值可达1000–2500。

超高力灵敏度

室温下力灵敏度可达1 fN·Hz⁻¹ᐟ²，适用于微弱力检测。

免缺陷制备

顶向下加工方法保护谐振梁结构，减少内部缺陷，且便于与IC工艺集成。

应用场景

• 超高灵敏力检测：检测微弱力信号，灵敏度低至1 fN·Hz⁻¹ᐟ²。
• 纳机电质量传感：利用高Q谐振频率实现微小质量的高灵敏检测。
• 量子机电系统：作为量子机电系统的核心振动元件。
• 高频信号处理器件：用于高频信号处理，具备与IC工艺集成的潜力。